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Air bearing stage
上銀空氣軸承定位平臺
針對先端半導體與面板制程設備所開發(fā)之奈米空氣軸承定位平臺。領先同業(yè)采用新型真空預壓低耗能氣浮軸承、動態(tài)反作用力平衡與慣性補償技術(shù)，可于千分之一秒內(nèi)達到奈米誤差內(nèi)要求，大幅減少運動整定時間與組件磨耗率，提升設備生產(chǎn)力與可靠性。完整智能化遠程系統(tǒng)偵測與全球客服支持提供，幫助客戶大幅縮短設備開發(fā)時程，節(jié)省許多整合時間與成本，使其更聚焦本身關鍵制程Know-how。